スパッタ装置

メーカーアルバック

型式SRH420

年式2025

外寸6500 6000 2400(床面）

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P60207

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機械仕様裏面・実装用スパッタリング装置
Model：SRH 　パワーデバイス、WL-CSP、UBMなどの金属成膜を行うことを目的とした量産用の装置

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