メーカー東京精密

型式UF2000

年式2025

外寸1500 1500 1300

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.P60210

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機械仕様対応ウェーハ：120mm～200mm（6～8インチ）
位置決め精度：±1.5μm
温度制御：100～150℃
用途：ディスクリート、パワーデバイス、ロジックデバイス、MEMSなど幅広いデバイスに対応

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