メーカーオリンパス

型式AL110R-LM6/MX50-F

年式

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P70208

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機械仕様適応ウエハサイズ:6インチ
ステージストローク:x=320/Y=200mm
接眼レンズ:SWH10ｘ-H/2.65
対物レンズ:UM Plan FL5x/10x/LM Plan FL20x/50x/100x
電源:AC100V　50/60Hz

添付ファイル 動作チェックシート