半導体(前工程) 半導体・製造装置 ドライエッチング エッチング装置 メーカーサムコ 型式RIE-10NR 年式1998 外寸W500 D920 H1510 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.P80255 在庫確認・お問合せ 機械仕様反応室寸法:450x420x420 高周波電源:13.56MHz 300W 電源:三相AC200V 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します