メーカーアネルバ

型式E-800S

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P80256

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機械仕様基板トレイ収納数:3インチｘ8枚もしくは4インチｘ8枚
ターゲット:6インチｘ4基
最高加熱温度:300℃
電源:三相AC200V　50/60Hz
付属装置:ドライポンプ=MU100N-2/チラー=RKE750A-V-G2/クライオコンプレッサー=P-421CA

添付ファイル