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外寸W1480 D800 H1760

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,100,000円(税込)

ASK管理No.P80259

在庫確認・お問合せ

機械仕様ロードロック室:φ180/ボート寸法130ｘ230ｘ70
内寸法(約）:800ｘ450ｘ350
手動ゲートバルブ:BAT12144-JA03-0001/0246
ドライポンプ:カシヤマNeoDry36E-3
酸素濃度計:東レLC-750
内にホットプレーHPA1914B有り

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