プラズマクリーナー
メーカーサムコ
型式PC-300
年式2007
外寸W580D780H1600
展示場九州テクニカルセンター
価格1,980,000円(税込)
ASK管理No.P80414
機械仕様反応室(SUS)：W3082D356H212
観測窓：φ66
電極構造：シェルフ型電極
電極間隔可変(50/90mm) モード：RIE/PE
電極棚：1枚
ワークサイズ：最大W320D230H80
高周波電源：13.56MHz
水晶発振 Max300w
電源：3相200V 50/60Hz
添付ファイル
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