メーカーSPPテクノロジーズ

型式APX-Cetus(SiH4)

年式2020

外寸W1450D900H2120

展示場九州テクニカルセンター

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ASK管理No.P80426

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機械仕様対応ウエハ：3インチ
RF電源：13.56MHz/380kH 25～475W
電源：3相200V

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