イオンミリング装置
メーカーエヌエス
型式M20-20/TURBO
年式2007
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.P90013
機械仕様適応基板サイズ:φ4/φ3インチ
入射角度:-90°～+90°
エッチングレート:Siに対して200Å/min以上
電源:三相AC200V
◆本体W:1450 D:1200(900) H:2100 小ｷｬｽﾀ付 640㎏
◆真空ﾎﾟﾝﾌﾟW:650 D:450 H500 小ｷｬｽﾀ付
◆ﾁﾗｰW:400 D:350 H1100 小ｷｬｽﾀ付
添付ファイル 動作チェックシート
※ 以下の画像をクリックをすると拡大します
