イオンミリング装置

メーカーエヌエス

型式M20-20/TURBO

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.P90013

在庫確認・お問合せ

機械仕様適応基板サイズ:φ4/φ3インチ
入射角度:-90°～+90°
エッチングレート:Siに対して200Å/min以上
電源:三相AC200V

添付ファイル

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