アッシング装置

メーカー東京応化工業

型式TCA-3822

年式2007

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格商談中

ASK管理No.P90283

機械仕様構成:本体/電源ユニット/ドライポンプ2台/テラー2台
適用ウエハ:φ150mm
RF電源:RFF20Z(13.56MHz　2kW）
電源:三相AC200V　50/60Hz　75A

添付ファイル

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