走査型電子顕微鏡
メーカー日本電子
型式JIB4501
年式2013
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.PA0245
機械仕様FIB(集束イオンビーム)
イオン源:Ga 液体金属イオン源
加速電圧:1～30ｋV(ステップ)
倍率:×30(視野探し用)
×100～×300,000
像分解能:5nm(30kV時)
最大ビーム電流:60nA(30kV時)
可動絞り:12段(モータ駆動)
イオンビーム加工形状:短形、ライン、スポット
SEM(電子ビーム)
ビーム源:LaB6
加速電圧:0.3～30ｋV(ステップ)
倍率:×5～300,000
像分解能:2.5nm(30ｋV時)
最大ビーム電流:1μA(30 kV時)
試料ステージ:ゴニオメータステージ
X:76mm、Y:76ｍｍ
Z:5～48mm
T:-10～90°、R:360°
R:360°エンドレス
最大試料サイズ:76mmφ
添付ファイル
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