メーカー島津製作所

型式TMP-803M EI-R04M

年式

外寸-

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.PA0275

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機械仕様・磁気軸受型ターボ分子ポンプ:TMP-803M
冷却方式:空冷
吸気フランジ:VG150
排気フランジ:KF40
排気速度:N2時 800L/S
・ターボ分子ポンプ用電源:EI-R04M
磁気軸受制御部:5軸制御
回転数制御部:速度フィードバック制御

添付ファイル