メーカー島津製作所

型式TMP-803MEI-R04M

年式

外寸-

展示場塩山テクニカルセンター

価格1,210,000円(税込)

ASK管理No.PA0275

在庫確認・お問合せ

機械仕様・磁気軸受型ターボ分子ポンプ:TMP-803M
冷却方式:空冷
吸気フランジ:VG150
排気フランジ:KF40
排気速度:N2時 800L/S
・ターボ分子ポンプ用電源:EI-R04M
磁気軸受制御部:5軸制御
回転数制御部:速度フィードバック制御

添付ファイル 動作チェックシート