半導体(前工程) フォトリソ・塗布・表面処理 塗布現像・コーター・デベロッパー スピンコーター メーカーミカサ 型式1H-DX2 年式 外寸W355 D520 H305 展示場塩山テクニカルセンター 価格売却済 ASK管理No.PA0343 在庫確認・お問合せ 機械仕様チャックテーブル寸法:60×50/φ20mm 試料サイズ:最大φ154㎜ スピン室内径:φ290mm 回転数:300~7000r.p.m 回転時間:最大999.9秒(合計) 真空ポンプ(DA-60S)付属 電源:AC100V 50/60Hz 5A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します