半導体(後工程) 実装 プラズマクリーナー プラズマクリーナー メーカーサムコ 型式PC-300 年式2007 外寸W500 D690 H1400 展示場塩山テクニカルセンター 価格商談中 ASK管理No.PA0347 在庫確認・お問合せ 機械仕様高周波信号発生器(T857-1) 真空ポンプ(E2M18) 高周波電源:13.56MHz 300W 観測窓:φ66mm ワークサイズ:最大320x230x80mm 反応室寸法:W382 D356 H212mm 電源:三相 AC200V 50/60Hz 1.7VA 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します