ウエハ搬送装置
メーカーヤマトハンズ
型式YAT3
年式
外寸1300×850×1450
展示場
価格2,750,000円(税込)
ASK管理No.PA0504
機械仕様対応ウエハ：3インチ マガジンセット部：段数25段
昇降ストローク：150mm ウエハ搬送部：X軸ストローク300mm Z軸ストローク40mmθストローク190°
【顕微鏡(L150NA)】
接眼レンズ：CFIUW10x/25
光源：LED反射照明
対物レンズ：TU PlanFluor5x/10x/20x/50x/100x
電源：1相100V 50/60Hz
PCラック：W 800D600H1650
添付ファイル
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