メーカー大日本スクリーン

型式VM-1210

年式

外寸700×600×900

展示場

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ASK管理No.PA0506

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機械仕様測定領域：
φ5μm（10Ｘ対物レンズ）
φ2.5 μm（20Ｘ対物レンズ）
φ10 μm（5Ｘ対物レンズ）
φ1 μm（50Ｘ対物レンズ）（オプション）
膜厚測定範囲 ：10nm～20μm（SiO2onSiを10Ｘ対物レンズで測定時）
測定時間：1秒以下（SiO2 on Siを10Ｘ対物レンズで測定時）　
測定再現性（σ）：
0.1nm（膜厚が10nm～3,000nmの場合）
0.03％（膜厚が3μm～20μmの場合）

添付ファイル