メーカーイーヴィグループジャパン

型式EVG620

年式2007

外寸W1750 D1400 H1900

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.PB0677

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機械仕様マスクホルダーサイズ:3～7インチ
基板の大きさ:2～6インチ
アライメント精度：1um"
ソフトコンタクト：3umのL/以下
プロキシミティギャップ：5umのL/S以下
電源:3相AC200V 50/60Hz 7.0A 1.4kW

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