メーカー日本電子

型式JFC-1600

年式

外寸W350 D430 H310

展示場塩山テクニカルセンター

価格売却済

ASK管理No.PC0022

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機械仕様マグネトロン型スパッタ方式
使用圧力:～10-^1Pa
ターゲット(標準):φ57mm Pt
試料台:φ64mm
真空チャンバ:φ120×H100mm
電源:AC100V　50/60Hz 300VA
真空ポンプ無し

添付ファイル 動作チェックシート