イオンコーター
メーカー日本電子
型式JFC-1600
年式
外寸W350 D430 H310
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.PC0022
機械仕様マグネトロン型スパッタ方式
使用圧力:~10-^1Pa
ターゲット(標準):φ57mm Pt
試料台:φ64mm
真空チャンバ:φ120×H100mm
電源:AC100V 50/60Hz 300VA
真空ポンプ無し
添付ファイル
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メーカー日本電子
型式JFC-1600
年式
外寸W350 D430 H310
展示場塩山テクニカルセンター
価格商談中
ASK管理No.PC0022
機械仕様マグネトロン型スパッタ方式
使用圧力:~10-^1Pa
ターゲット(標準):φ57mm Pt
試料台:φ64mm
真空チャンバ:φ120×H100mm
電源:AC100V 50/60Hz 300VA
真空ポンプ無し
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