メーカーMESアフティ

型式AFTEX　EC-2300

年式2007

外寸W1820 D990 H1850

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.PC0431

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機械仕様内径φ150mmの固体ソースECRプラズマ源を搭載
基板加熱:Max300℃
ロータリーポンプ:アルカテル2015SD
電源:三相AC200V　50/60Hz　75A

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