パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーENI 型式OEM-1250-01 年式2002 外寸W485D540H180 展示場塩山テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.PC0491 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:1250W 13.56MHz 入力:3相 AC200-220V 14A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します