パーツ関連 真空部品 RF電源 RF電源 メーカーENI 型式OEM-2000-01M1 年式2002 外寸W480 D650 H200 展示場塩山テクニカルセンター 価格お問合せください ASK管理No.PC0492 在庫確認・お問合せ 機械仕様出力:2000W 12.50MHz 入力:3相 AC200-220V 25A 添付ファイル 動作チェックシート ※ 以下の画像をクリックをすると拡大します