メーカーRORZE

型式RR701L1211-3A3-111-2

年式2002

外寸W400 D250 H730

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.PC0493

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機械仕様ウエハ搬送システム:RA310-512-010
外寸:W190 D260 H370
モジュールアクセサリ:PAC-106GW-00003
外寸:170 D420 H180
コントローラ:CURR-1480-3 2台
外寸:W300 D210 H70

添付ファイル