ターボ分子ポンプセット

メーカー島津

型式TMP-1003LM(LF)

年式2016

外寸W260 D260 H320

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.PC0494

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機械仕様回転数35000rpm
排気速度1080L/S(N2)
排気フランジ
電源ユミット:EI-D1003M

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