XPS検査装置

メーカーアルバック・ファイ

型式PHI 5000 VersaProbe Ⅲ

年式

外寸-

展示場塩山テクニカルセンター

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ASK管理No.Q20281

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機械仕様資料サイズ:固体W40 D40 t8mmあるいは9×18×13tまで）
走査型マイクロフォーカスＸ線源:10～200μmのビーム径

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