ICPエッチング装置
メーカー住友精密工業
型式MUC-21-036
年式2004
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.Q20313
機械仕様プロセスチャンバーは、Siトレンチエッチング用に構成
プラズマは、13.56MHz
ドライポンプ(エドワーズIQDP80)、
ドライポンプ(エドワーズIH80-MK5)
チラー(RISSHI μEX-1102)、チラー(NESLAB M75)
スクロールポンプ(BUSCH F0 0030 B 0H0..XX)
取扱説明書、その他付属品あり
添付ファイル
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