ウェーハ表面検査装置
メーカータカノ
型式WM-7S
年式2023
外寸W860 D900 H1650
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.Q20387
機械仕様光源:VioletLD(約405nm)
検出/走査方式:スパイラルスキャン
最高検出感度:Bare-Si ウェーハ0.079μm
対応ウェーハサイズ:50～200mm
設置ステージカセット:6インチ
OS:Windows10
電源:単相 AC200-240V 50/60Hz
4インチステージ、カセット付属
添付ファイル
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