セミオートプローバー
メーカーアポロウェーブ
型式AP200
年式2023
外寸W1060 D1070 H1550
展示場塩山テクニカルセンター
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ASK管理No.Q20407
機械仕様チラー(AP1263SA)、真空ポンプ(DAP-6D)、
温度コントローラー
対応ウエハサイズ:～8インチ
XY軸移動量:±50mm
制御分解能:1um 再現性:±2um以内
精度:±10um以内 移動速度:30mm/sec(Max)
Z軸移動量:14mm 分解能:1um 再現性:2um以内
移動速度:25mm/sec(Max)
ステージZ軸移動速度:25㎜/sec(Max)
θ軸移動量:±6deg 制御分解能:0.001deg
回転速度:1deg/sec(Max)
CCDレンズ:受光素子サイズ:1/1.8
倍率:1、2、4、8倍 照明:LED同軸落射（調光付き）
その他付属:5Pin+1ESプローブカード、同軸ケーブル、
プローブ挿入治具セット、プローブ針(TN-10)、
同軸プローブホルダー(74CJ-APT-KS/05)×2、
温度コントローラー寸法:W450 D480 H1120
チラー寸法:W600 D1150 H1500
添付ファイル
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