集束イオンビーム装置 NG
メーカー日本電子
型式JFIB-2300
年式2003
外寸
展示場塩山テクニカルセンター
価格売却済
ASK管理No.TE5VA2
機械仕様分解能=7.0nm 倍率=x75~300,000相当
イオン電子銃:Ga液体金属イオン
入力:1φ200V 50/60Hz 3KVA
ドライN2:0.49~0.98MPa
添付ファイル
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