メーカー日本電子データム

型式JEM-9310FIB

年式2008

外寸

展示場塩山テクニカルセンター

価格2,178,000円(税込)

ASK管理No.TF1SA1

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機械仕様イオン源:Ga液体金属イオン源
加速電圧:5~30KV(5kVステップ)
イオンビーム加工形状:矩形・ライン・スポット
倍率:x50(視野探し) x150~300,000

添付ファイル 動作チェックシート