露光装置(UVキュア)NG
メーカーウシオ電機
型式CE-6000CH
年式2005
外寸W880 D1200 H1890
展示場塩山テクニカルセンター
価格2,200,000円(税込)
ASK管理No.XABG64
機械仕様6インチ
ウェーハ全面に高照度で紫外線を照射可能
適合ウエハーΦ150㎜) ノッチ/オリフラ兼用
キャリア 25段 照射強度 : 650mW/cm2 以上
本体 W880 D1200 H1890(パトライト除く)
パトライトそのままの場合+400㎜
ランプ電源 W530 D770 H1000 100㎏
ケーブル他(箱入)W460 D460 H460 30㎏
添付ファイル
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